中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，是中国著名的技术学科综合性研究所之一。其前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，新中国成立后隶属于中国科学院，曾命名为中国科学院工学实验馆、中国科学院冶金陶瓷研究所。1958年、1959年本所先后分出组建了长沙矿冶研究院、昆明贵金属所、中国科学院上海硅酸盐研究所，又先后更名为中国科学院冶金研究所、中国科学院上海冶金研究所。2001年8月，根据研究所近年来科研领域的变迁和科技发展战略目标的调整，经中国科学院和国家有关部门批准将所名更改为中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
中国科学院上海微系统与信息技术研究所(香港)目前已在有网点。
